01
Ключевые факты
—

—
: до 350 нм (перспектива 130 нм)
: 200 мм (8 дюймов)
: 365 нм (i-line ртутная лампа / УФ)
: до 40 пластин в час
This development reshapes competitive dynamics in the sector.
Regulatory frameworks and infrastructure readiness remain critical.
Mainstream adoption expected within 3–5 years.